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通过在晶圆和底板上各装一个球,可以对应自由的排列,是适合实验和试作的手提球山。
特点
程序式1球搭载功能,不需要变更球布局时更换附件
以批量生产方式的转录系统和转录系统一样容易
也可以作为量产系统的修复机使用