半导体设备厂家
高精度图像定位，统一装载flax印刷及植球，采用独特的微球专属杯，可对应Min.60μm。
特点
采用了为搭载微球而开发的金属杯方式
通过球的回收功能，实现了废球量的大幅度减少
实现独特的高精度定位球
通过高精度的图像定位机构和晶片厚度检测功能，实现稳定的球搭载。
切换到正片，每台大圆，每台大圆
口罩上没有多余的球，减少了废球的产生
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