磷化铟单晶炉（VGF型）

系统类别

参数名称

具体规格

腔体

形式

立式

适配晶体尺寸

6英寸

设计压力

5MPa（遵照《中华人民共和国国家标准?压力容器》（GB150.1～150.4-2011）执行，乙方提供全套压力容器设计资质及相关证明文件）

机械安全阀开启压力

3.5MPa

腔体水冷

采用螺旋结构冷却水路，冷却均匀高效

工艺压力

2.75MPa

端盖锁紧

配备专用锁紧工具，采用手动锁紧方式，密封可靠

高压腔过压保护

配置高精度安全阀，实现过压自动保护

旋转角度

可旋转45°-90°，便于操作和维护

加热炉

升、降温速率

根据设定温度与实际温度的温差自动调节，适配不同工艺需求

控温段数

5段，控温精度高，热场均匀

炉丝布置方式

螺旋缠绕抽头方式，加热均匀，使用寿命长

加热电极

加热电极穿过法兰，已做耐高温绝缘处理，杜绝漏电隐患

温度控制

极高工作温度

1300℃

升温速率

0-15℃/min，可按需调节

报警检测

具备异常情况报警功能，发出声光报警信号，及时提醒操作人员排查故障，保障设备及人员安全

控制方式

计算机 PLC 高精度智能温控器，实现自动化精准控温，支持GEM/SECS通讯，可与EAP系统对接，支持远端工艺下载