一、简介
此阀门为电磁驱动方式,在结构上设计合理,外形上美观,还具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点,是真空设备阀门之一。阀门以线圈通电产生电磁力为动力,通过机构与阀板连接,并带动阀板开启及关闭动作。阀门的非腐蚀性气体。
二、特点
u 标准化、模块化设计,易于更换及维修;
u 便于清洁的设计;
u 电磁阀采用节能设计,体积小;
三、主要性能指标
适用范围: 1?10-5Pa~1.2?105Pa(氟胶圈密封) 1?10-6Pa~1.2?105Pa(波纹管密封) 打开时插板上的压差: ≤1.0?105Pa任意方向 阀体和阀座漏率:1.3?10-7Pa?L?s-1 | 安装位置: 任意(波纹管密封);密封面朝向真空(氟胶圈密封) 电源: 交流220V 50Hz 阀体烘烤温度:≤150℃ | 阀门开启或关闭时间 开启≤0.1s;关闭≤1s(氟胶圈密封)、关闭≤0.5s(波纹管密封) 阀门位置指示 带有开启指示灯
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四、外形尺寸

五、驱动方式

六、法兰尺寸



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