详情描述:
半自动晶圆压膜机ELT产品特色 加热/真空和压力层压 高填充率 8“/ 12”使用 内部自动切割系统 TTV可控制在2um之内 均匀度> 98% 产品应用 Flip Chip、FOWLP、3DIC… 适用于不平整的表面形貌 PR / PI薄膜 BG / DAF或NCF 模具
半自动晶圆压膜机ELT产品特色
加热/真空和压力层压
高填充率
8“/ 12”使用
内部自动切割系统
TTV可控制在2um之内
均匀度> 98%
产品应用
Flip Chip、FOWLP、3DIC…
适用于不平整的表面形貌
PR / PI薄膜
BG / DAF或NCF
模具