研创众诚30A气体质量流量控制器

详情描述：

MT-30ASERIES  
                         
                                                                               
概要：
MT-30A系列质量流量计/控制器由质量流量传感器，
分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部
件组成。
本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细
管壁温度分布的热传导分布效应尔制成
采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流
量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得得流
量信号进行放大，然后与设定的电压值进行比较，
用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制
流过通道的流量使之与设定的流量相等。
●标准
本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准
MT-30A
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型式
A
模拟式
B
数字式
功能
 
M
流量计
C
流量控制器
流量范围
 
ABC
 
气体种类
 
013
N2
008
Air
015
O2
004
Ar
025
CO2
001
He
FFF
其他
接头
1/4”VCR
1
 
1/2”VCR
2
3”SWL
3
6”SWL
4
其他
F
讯号
DC 0~5V
1
 
其他
2
电源
DC /-15V
1
SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条      产品尺寸127?28?100mm
件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。      型号选型
质量流量的单位规定为：SCCM(标准毫升/分)
 SLM(标准升/分)
标准状态规定为：温度--273.15K( 0℃ )
气压--101325pa(760mm Hg)  F.S(Full Scale):满量程值
特点：
MT-30A系列可应用在5SCCM-30SLM的气体流量范围
并且不会受到温度及压力变化的影响，应用范围广
●模拟式质量流量计/控制器
?低单价 ?环境温度补正 ?可应用流量范围广   
?0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
?0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM
●高精度
??1%F.S（≤15SLM） ??2%F.S（＞15SLM）
●小体积
●可选用MT-1A流量显示仪或MT-1B流量积算仪配
套使用。
●输入，输出，供电
?输入设定电压…………0～ 5.00V
?输出电压检测…………0～ 5.00V
 
●基本参数
功能
流量计/控制器
基本型号 
MT-30A
满量程流量范围(N2)
SCCM
0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM
0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)
?1(≤15SLM)
?2(＞15SLM.)
控制阀动作型式
常闭式
线性(％F.S.)
?0.5～1(≤15SLM)
?2％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.)
?0.2
响应时间(sec)
≤1
流量输出信号
0- 5.00V
流量设定信号
0- 5.00V
电器接头
DB15 pin(接头)
工作环境温度
(℃)
5～45
工作压差
(MPa)
0.1～0.5
漏率
SCCSHe
1?10-9
耐压
3MPa
介质接触材质
304，316，316L
密封材料
氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯
接头
VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸
Φ6mm,1/4"Swagelok:127?28?100mm
1/4"VCR:127?28?100mm
电源要求
 15V,50mA;-15V,200mA
重量
0.75KG